ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix
นักวิจัย : Cen, Zhan Hong , Chen, Tupei , Ding, Liang , Liu, Yang , Yang, Ming , Wong, Jen It , Liu, Yu Chan , Fung, Stevenson Hon Yuen , Liu, Zhen
คำค้น : DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Optics, optoelectronics, photonics
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : Cen, Z. H., Chen, T., Ding, L., Liu, Y., Yang, M., Wong, J. I., et al. (2008). Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix. Applied Physics Letters, 93, 1-3. , 0003-6951 , http://hdl.handle.net/10220/6400 , http://dx.doi.org/10.1063/1.2962989
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Applied physics letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

Optical properties of implanted Si in a silicon nitride thin film have been determined with spectroscopic ellipsometry based on the Tauc–Lorentz (TL) model and the Bruggeman effective medium approximation. It is shown that the suppressed dielectric functions of the implanted Si are dominated by the energy transitions related to the critical point E2. The effect of thermal annealing on the dielectric functions of the implanted Si has been investigated. The analysis of the dielectric functions based on the evolution of the TL parameters can provide an insight into the structural changes in the implanted Si embedded in the Si3N4 matrix caused by the annealing.

บรรณานุกรม :
Cen, Zhan Hong , Chen, Tupei , Ding, Liang , Liu, Yang , Yang, Ming , Wong, Jen It , Liu, Yu Chan , Fung, Stevenson Hon Yuen , Liu, Zhen . (2551). Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Cen, Zhan Hong , Chen, Tupei , Ding, Liang , Liu, Yang , Yang, Ming , Wong, Jen It , Liu, Yu Chan , Fung, Stevenson Hon Yuen , Liu, Zhen . 2551. "Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Cen, Zhan Hong , Chen, Tupei , Ding, Liang , Liu, Yang , Yang, Ming , Wong, Jen It , Liu, Yu Chan , Fung, Stevenson Hon Yuen , Liu, Zhen . "Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2551. Print.
Cen, Zhan Hong , Chen, Tupei , Ding, Liang , Liu, Yang , Yang, Ming , Wong, Jen It , Liu, Yu Chan , Fung, Stevenson Hon Yuen , Liu, Zhen . Annealing effect on the optical properties of implanted silicon in a silicon nitride matrix. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2551.