ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Dual nanowire silicon MOSFET with silicon bridge and TaN gate

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Dual nanowire silicon MOSFET with silicon bridge and TaN gate
นักวิจัย : Theng, A. L. , Goh, Wang Ling , Ng, C. M. , Chan, L. , Lo, Guo-Qiang
คำค้น : DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : Theng, A. L., Goh, W. L., Ng, C. M., Chan, L. & Lo, G. Q. (2008). Dual Nanowire Silicon MOSFET with Silicon Bridge and TaN Gate. IEEE Transactions on Nanotechnology. 7(6), 795-799. , 1536-125X , http://hdl.handle.net/10220/6263 , http://dx.doi.org/10.1109/TNANO.2008.917845
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : IEEE transactions on nanotechnology
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

This paper demonstrates a high performance silicon nanowire mosfet built on silicon-on-insulator (SOI) platform. Stress-limiting oxidation technique was exploited for dual nanowire channel formation. To further improve the performance of the device, TaN metal gate is used instead of the conventional polysilicon gate. The thin silicon bridge between the two nanowires provides a small boost in the drive current, without degrading the short channel performance. The novel structures are able to achieve excellent electrical performances, high drive current of 927 μA/μm for p-channel and 554 μA/μm for n-channel, near ideal subthreshold slope (SS), and low drain-induced barrier lowering (DIBL).

บรรณานุกรม :
Theng, A. L. , Goh, Wang Ling , Ng, C. M. , Chan, L. , Lo, Guo-Qiang . (2551). Dual nanowire silicon MOSFET with silicon bridge and TaN gate.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Theng, A. L. , Goh, Wang Ling , Ng, C. M. , Chan, L. , Lo, Guo-Qiang . 2551. "Dual nanowire silicon MOSFET with silicon bridge and TaN gate".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Theng, A. L. , Goh, Wang Ling , Ng, C. M. , Chan, L. , Lo, Guo-Qiang . "Dual nanowire silicon MOSFET with silicon bridge and TaN gate."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2551. Print.
Theng, A. L. , Goh, Wang Ling , Ng, C. M. , Chan, L. , Lo, Guo-Qiang . Dual nanowire silicon MOSFET with silicon bridge and TaN gate. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2551.