ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS

หน่วยงาน Nanyang Technological University, Singapore

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS
นักวิจัย : Singh, Vijay Raj , Anand, Asundi
คำค้น : DRNTU::Engineering::Electrical and electronic engineering::Optics, optoelectronics, photonics.
หน่วยงาน : Nanyang Technological University, Singapore
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2552
อ้างอิง : Singh, V. R., & Anand, A. (2009). In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS. Chinese Optics Letters, 7(12), 1117-1122. , 1671-7694 , http://hdl.handle.net/10220/6758 , http://dx.doi.org/10.3788/COL20090712.1117 , 143338
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : Chinese optics letters
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

In-line digital holography helps to relax the spatial resolution requirement on charge-coupled device sensors for digital recording of holograms and to utilize the full sensing area for image reconstruction which provides larger field of view and better imaging resolution. In this letter, a lensless in-line digital holographic microscopy is presented for dynamic metrology of micro-electro-mechanical systems devices. The methodologies of interferometry and time-averaged in-line digital holography are presented for dynamic measurements, which are also useful for simultaneous suppression of in-line waves from real image wave. The experimental results are presented for dynamic thermal characterization of microheater and vibration analysis of cantilevers.

บรรณานุกรม :
Singh, Vijay Raj , Anand, Asundi . (2552). In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS.
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Singh, Vijay Raj , Anand, Asundi . 2552. "In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS".
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore.
Singh, Vijay Raj , Anand, Asundi . "In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS."
    กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore, 2552. Print.
Singh, Vijay Raj , Anand, Asundi . In-line digital holography for dynamic metrology of MEMS. กรุงเทพมหานคร : Nanyang Technological University, Singapore; 2552.