ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์

หน่วยงาน ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
นักวิจัย : กิตติมา ศิลปษา
คำค้น : REACTION-BONDED SILICON NITRIDE (RBSN) , RBSN , NITRIDATION , MECHANICALPROPERTY , OXIDATION
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2545
อ้างอิง : http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1082545001117
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

วิทยานิพนธ์ฉบับนี้ เป็นการศึกษาผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์โดยในส่วนแรกถูกตรวจสอบด้วยการใช้ผงซิลิคอนสามขนาดซึ่งมีขนาดเฉลี่ย 3, 6 และ12 ไมโครเมตร อัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบแนวเดียวที่ 72 MPa แล้วทำการอัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบทุกทิศทางที่ 300 MPa จากนั้นเผาผนึกขั้นต้นที่อุณหภูมิ 1200(+,ฐ)C ในบรรยากาศอาร์กอนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง และทำการไนไตรเดชันที่อุณหภูมิ 1500 (+,ฐ)C ในบรรยากาศไนโตรเจนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง ตรวจสอบสมบัติทางกายภาพและสมบัติทางกล จากผลการทดลองพบว่าเมื่อขนาดของผงซิลิคอนเล็กลงสมบัติต่าง ๆ ทั้งความหนาแน่น, โมดูลัสของยัง,ความแข็ง และความแข็งแรงต่อการดัดจะมีค่าเพิ่มขึ้น ในส่วนที่สองทำการศึกษาการเกิดออกซิเดชันโดยเผาชิ้นงานรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ในบรรยากาศที่อุณหภูมิ 700, 800,900 และ 1000 (+,ฐ)C เป็นเวลา 20 ชั่วโมง หาค่าพลังงานกระตุ้นและตรวจสอบโครงสร้างจุลภาค จากผลการทดลองพบว่าการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิระหว่าง 700-1000 (+,ฐ)Cมีค่าพลังงานกระตุ้นที่จะเกิดซิลิกาเป็น 209 kJ/mol (50 kcal/mol)

บรรณานุกรม :
กิตติมา ศิลปษา . (2545). ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
กิตติมา ศิลปษา . 2545. "ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
กิตติมา ศิลปษา . "ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2545. Print.
กิตติมา ศิลปษา . ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2545.