ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การเตรียมฟิล์มซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า

หน่วยงาน ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การเตรียมฟิล์มซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า
นักวิจัย : คมกฤษณ์ ปุ่นอุดม
คำค้น : ZnO , TRANSPARENT CONDUCTING FILMS , RF SPUTTERING
หน่วยงาน : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2540
อ้างอิง : http://www.thaithesis.org/detail.php?id=1082540000532
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

ฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้าถูกเตรียมบนวัสดุรองรับกระจำที่ไม่มีการเผาโดยวิธีอาร์เอฟแมกนิตรอนสปัตเตอริง ในบรรยากาศของแก๊สอาร์กอนจากเป้าซิงค์ออกไซด์แบบอัดร้อนที่ซื้อมา โดยมีการเจือด้วยอลูมินัมออกไซด์ 2% โดยมวล สมบัติเชิงไฟฟ้าและแสงของฟิล์มเหล่านี้สามารถปรับได้โดยการควบคุมพารามิเตอร์ของการสปัตเตอริงเช่น ความดัน กำลังไฟฟ้า ระยะทางและการจัดวางตัวของวัสดุรองรับที่กระทำกับผิวของเป้า สามารถผลิตฟิล์มบนวัสดุรองรับซึ่งถูกวางตั้งฉากกับผิวของเป้าโดยที่มีสภาพต้านทานไฟฟ้าต่ำประมาณ (9.41(+,-)0.88)x10('4) โอห์ม-ซม. สภาพเคลื่อนที่ได้ของฮอลล์ 15.9(+,-)6 ซม.('2)/(โวลท์-วินาที) และสัมประสิทธิ์การส่งผ่านแสงสูงกว่า 90% ในช่วงความยาวคลื่นอยู่ในช่วง 400-1000 นาโนเมตร ฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ที่เจือด้วยอลูมินัมที่มีพื้นที่ใหญ่ได้ถูกเตรียมครึงแรกจากเป้าที่มีขนาดเล็ก โดยการหมุนวัสดุรองรับกระจกที่มีขนาด 4.85x5.85 ซม('2) ฟิล์มที่ได้ถูกแบ่งออกเป็นแปดส่วนแต่ละส่วนถูกวิเคราะห์ทั้งในเชิงไฟฟ้าและแสงการกระจัดกระจายของสภาพต้านทานไฟฟ้าของฟิล์มที่มีพื้นที่ใหญ่แสดงให้เห็นว่ามีความสม่ำเสมอรอบแกนหมุนของวัสดุรองรับ เป้าซิงค์ออกไซด์แบบอัดเปียกแล้วเผาเจืออลูมินัมออกไซด์ตั้งแต่ 1 ถึง 5% โดยมวล เตรียมจากผงซิงค์ออกไซด์ความบริสุทธิ์ 99.9995% และผงอลูมินัมออกไซด์ความบริสุทธิ์99.99% นำมาผสมแล้วอัดขึ้นรูปเป็นแผ่นกลมขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 2 นิ้ว และนำไปเผาที่อุณหภูมิ 1100 องศาเซลเซียสในอากาศเป็นเวลา 12 ชั่วโมง ฟิล์มซิงค์ออกไซด์ที่มีสภาพต้านทานไฟฟ้าต่ำได้จากการทำ อาร์เอฟ แมกนิตรอนสปัตเตอริงด้วยเป้าซิงค์ออกไซด์แบบอัดเปียกแล้วเผาเจืออลูมินัมออกไซด์2% โดยมวลที่มีราคาถูกโดยใช้สภาวะการสปัตเตอริงเดียวกันกับเป้าซิงค์ออกไซด์แบบอัดร้อน สมบัติเชิงไฟฟ้าและแสงของฟิล์มใกล้เคียงกับการสปัตเตอริงจากเป้าซิงค์ออกไซด์แบบอัดร้อน สมบัติเหล่านี้แสดงถึงความเหมาะสมที่จะนำเป้าซิงค์ออกไซด์แบบอัดเปียกแล้วเผาไปใช้เป็นเป้าสปัตเตอริงในการผลิตฟิล์มซิงค์ออกไซดืเจืออลูมินัมแบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า

บรรณานุกรม :
คมกฤษณ์ ปุ่นอุดม . (2540). การเตรียมฟิล์มซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า.
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
คมกฤษณ์ ปุ่นอุดม . 2540. "การเตรียมฟิล์มซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า".
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย.
คมกฤษณ์ ปุ่นอุดม . "การเตรียมฟิล์มซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า."
    กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย, 2540. Print.
คมกฤษณ์ ปุ่นอุดม . การเตรียมฟิล์มซิงค์ออกไซด์แบบโปร่งใสและนำไฟฟ้า. กรุงเทพมหานคร : ฐานข้อมูลวิทยานิพนธ์ไทย; 2540.