ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์ โดยใช้วิธีสปัตเตอริง

หน่วยงาน สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์ โดยใช้วิธีสปัตเตอริง
นักวิจัย : สุจินต์ บุรีรัตน์ , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , ชาญณรงค์ สายแก้ว
คำค้น : สปัตเตอริง , อุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ , วัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์
หน่วยงาน : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ
ผู้ร่วมงาน : -
ปีพิมพ์ : 2551
อ้างอิง : http://rir.nrct.go.th/drupal-ir/node/18174
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : -
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

ศึกษากระบวนการเคลือบฟิล์มบาง จากเครื่องสปัตเตอร์ริงของห้องปฏิบัติการเทคโนโลยีฟิล์มบาง ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กโทรนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ

บรรณานุกรม :
สุจินต์ บุรีรัตน์ , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , ชาญณรงค์ สายแก้ว . (2551). การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์ โดยใช้วิธีสปัตเตอริง.
    กรุงเทพมหานคร : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ.
สุจินต์ บุรีรัตน์ , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , ชาญณรงค์ สายแก้ว . 2551. "การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์ โดยใช้วิธีสปัตเตอริง".
    กรุงเทพมหานคร : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ.
สุจินต์ บุรีรัตน์ , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , ชาญณรงค์ สายแก้ว . "การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์ โดยใช้วิธีสปัตเตอริง."
    กรุงเทพมหานคร : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ, 2551. Print.
สุจินต์ บุรีรัตน์ , อนุรัตน์ วิศิษฏ์สรอรรถ , ชาญณรงค์ สายแก้ว . การศึกษาการผลิตอุปกรณ์ก๊าซเซนเซอร์ด้วยวัสดุโมลิบดินัมไตรออกไซด์ โดยใช้วิธีสปัตเตอริง. กรุงเทพมหานคร : สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ; 2551.