ridm@nrct.go.th   ระบบคลังข้อมูลงานวิจัยไทย   รายการโปรดที่คุณเลือกไว้

Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis

หน่วยงาน Universiti Sains Malaysia, Malaysia

รายละเอียด

ชื่อเรื่อง : Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis
นักวิจัย : Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah
คำค้น : Q179.9-180 Research
หน่วยงาน : Universiti Sains Malaysia, Malaysia
ผู้ร่วมงาน : Ahmad, Abdul Latif , Yahya, Ahmad Ramli Mohd , Abdullah, Amirul AI-Ashraf , Muhammad, Tengku Sifzizul Tengku
ปีพิมพ์ : 2547
อ้างอิง : Salleh, Mohd Hazimin Mohd and Bidin, Noriah (2004) Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis. In: The 4th Annual Seminar of National Science Fellowship NSF 2004 Proceedings. Penerbit Universiti Sains Malaysia, Pulau Pinang, Malaysia, pp. 328-330. , http://eprints.usm.my/41886/1/pAMN06.pdf
ที่มา : -
ความเชี่ยวชาญ : -
ความสัมพันธ์ : http://eprints.usm.my/41886/
ขอบเขตของเนื้อหา : -
บทคัดย่อ/คำอธิบาย :

The growing interest in precise fabrication of micro and nano-structures such as optical component, lenses, sensor and devices makes the conventional approach no longer satisfactory for micro scale structure. Now, nano-technology has a big potential to revolutionize everything from medicine, industrial manufacturing and to computer within a few decades.

บรรณานุกรม :
Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . (2547). Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis.
    กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia.
Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . 2547. "Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis".
    กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia.
Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . "Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis."
    กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia, 2547. Print.
Salleh, Mohd Hazimin Mohd , Bidin, Noriah . Determination of argon fluoride (ArF) excimer laser system and materials diagnosis. กรุงเทพมหานคร : Universiti Sains Malaysia, Malaysia; 2547.